二手 KLA / TENCOR 4000 SURFSCAN #9248058 待售

KLA/TENCOR 4000 SURFSCAN是为微电子制造过程控制而设计的综合性晶圆测试和计量设备。该系统基于四单元光学和干涉成像原理，实现了高精度的表面成像和小特征的计量，用于分析和控制。该单元的光学平台通过各种显微镜物镜和激光束获取晶圆的多个图像，从而实现3D计量和自动缺陷检测。通过明场、暗场、散射和总激光强度显微镜，KLA 4000 SURFSCAN可以检测单个原子水平上的缺陷和异常。它还具有测量和记录不同深度的薄膜厚度和临界尺寸等参数以进行工艺控制的能力。机器以纳米级分辨率自动表征、分类和测量整个晶圆上的缺陷。其高吞吐量允许快速高效地诊断晶片,使制造商能够快速识别、分析和解决与过程相关的缺陷和异常。此外,该工具还具有各种数据分析软件包,包括一套高级报告编写应用程序,用于快速生成详细、全面的报告。TENCOR 4000 SURFSCAN提供一系列自动化和手动晶圆测试和分析功能。它的高级阶段自动化和自动化处理资产允许自动晶片加载、卸载和定位。该模型还利用了广泛的硬件功能，如其双激光成像设备、6轴电动级和自动晶片交换，用于精确的晶片处理和定位。其集成的运动控制系统使晶圆扫描和步进重复操作能够在其他计量或检查系统上精确定位晶圆。4000 SURFSCAN设计用于测量和控制用于过程控制的各种表面参数。其先进和专有的基于晶片的成像功能允许对防反射涂层、化学机械抛光、多边形形状、平坦度和曲率参数、光刻配准精度以及其他大面积测量进行表面检查。该单元具有广泛的缺陷检测设置,包括自动搜索、报告、扫描区域、关键尺寸和缺陷大小,以提供全面的缺陷分析。该机器完全符合全球行业标准,并具有许多可选功能,包括软件宏和图像分析软件。它具有极好的抗振性，设计为在具有ISO 5分类的洁净室中运行。该刀具为最高精度和可靠性而设计，适用于高精度生产线。