二手 LEITZ LIS #9283430 待售

LEITZ LIS（Laser-Enhanced Image Metrology设备）是一种晶圆测试和计量系统，用于以微米或纳米尺度分析半导体晶片或晶圆的表面。该单元对高度复杂的半导体器件的形状、结构和功能提供了强大、复杂和准确的分析,并且可以执行各种测量,包括检测和表征表面地形、纹理、表面污染、缺陷和迭加精度。LIS是基于光学共聚焦显微镜以激光干涉为主要传感器的组合。共聚焦显微镜利用高分辨率激光束以高达0.2µm/像素的分辨率扫描晶片表面。激光干涉和剪切技术使用两个激光束测量表面的相对高度。该机采用高速图像处理算法计算三维（3D）曲面形态，导出曲面轮廓、步高、结深、迭加精度等关键参数。可以使用针对特定应用程序的自定义模块来扩展工具的分析功能。这些模块使用户能够测量不同的参数,例如表面粗糙度、表面缺陷分类、粒子检测或电阻率分析。LEITZ LIS资产还具有收集、显示和分析实时数据的强大软件。直观的用户界面提供了一系列高级分析选项以及导出和存储数据以供以后查看和比较的能力。此外,用户可以从任何计算机远程访问模型,从而能够从任何位置监视和控制分析。LIS是一种高度通用和可靠的设备,用于许多研究、开发和生产应用。凭借其高图像分辨率和精确的3D测量，系统使用户能够轻松、精确地分析复杂的微米和纳米尺度特征。这使得它成为表征和验证现代半导体器件质量的理想工具。