二手 DNS / DAINIPPON SU-3100 #293595582 待售
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ID: 293595582
晶圆大小: 12"
优质的: 2008
Wet station, 12"
HDI
CDS
UPS
No load ports
HDD
Damaged: PC Mother board
Power supply
2008 vintage.
DNS/DAINIPPON SU-3100是一个湿式站,专门为半导体制造过程集成方面的客户提供可靠、创新的解决方桉。该设备由于精确度高、运行成本效益高而极为成功。SU-3000系列为高性能、自清洁湿式站，改进了喷流净化系统。适用于单模尾加工、单晶圆填充工艺等应用。净化装置消除灰尘和其他污垢颗粒，同时尽量减少对工艺环境的影响。除了先进的喷流净化机外，SU-3000还配备了使用有机清洁剂的创新清洁装置。它的速度高达3 Hz，头部间隙小于1 mm增加精度。清洁装置减少了生产高质量半导体器件的停机时间。该工具是针对行业标准半导体加工工艺如蚀刻、电镀、沉积、清洗等进行预编程的。过程控制模块提供精确的参数自动调整。这样可以确保每个步骤的处理在所有生产运行过程中都是精确且统一的。DNS SU-3100还具有多项功能,旨在提高灵活性,以满足客户的需求。它带有可变的八区加热资产，以减少热漂移和确保过程温度稳定。此外，该模型还配备了可调气体输送设备，以确保有效溷合过程中使用的气体和试剂。最后，DAINIPPON SU 3100具有有效的冷却系统，使机组温度保持在工作温度范围内。这样可以确保过程的质量和准确性不会因过热而受到影响。因此，SU 3100是半导体工业中可靠、经济高效和准确的工艺的理想湿站。
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