二手 DNS / DAINIPPON SU-3100 #293615278 待售
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ID: 293615278
晶圆大小: 12"
优质的: 2012
Wet station, 12"
PR Strip process (DECAP)
PC
(8) Chambers
Chemical: SC-1, SPM
Temperature (SPM / SC-1): 50°C-150°C / 30°C-120°C
Handler
(4) Load ports
Chemical units: H2SO4, H2O2, NH4OH, DHF
Overhead Transport System (OHT)
YASUKAWA ELECTRIC CORPORATION XU-ACT153L-H01 ID/R
CAMBRIDGE Filter GA5-445480E-SWLER FFU
Capacity: 99.9999 <% or more of 0.1 µm particle
Test (m³/min): 5.6 at 120 pa
Range of air control: 0.4 m/sec
Shield plate
Spin base:
Material: PCTFE
Spin motor: AC Servo motor
Revolution: Maximum 3000 rpm
Revolution accuracy: ±3 rpm
Chuck:
Drive: Pulse motor
Material: PCTFE, ETFE
Wafer detection: Detection by chuck pins
Shield plate:
Material: HT-PVC
Revolution drive: AC Servo motor
Revolution: Maximum 3000 rpm
Acceleration: Maximum 1000 rpm/sec
Revolution accuracy: ±3 rpm
Shift: AC Servo motor
Wafer surface distance : Minimum 0.3 mm
Splash guard:
Structure: Chemical collection
Material: PTFE
Shift: AC Servo motor
Sputter:
Drive: Air cylinder
Chemical cabinet-1,2: Temperature control of low temperature
Chemical used: SPM, SC-1
Mixing ratio: Premix
SPM: 50-150°C
SC-1: 30-120°C
Circulation pump: PILLAR
In-line heater
E-Flow:
SD16L-24SHR E Module
HORIBA HE-480-DC Resistivity meter
ESD-001C-T Resistivity sensor
CK-10M Sensor cable
EFA-30 Sensor holder
MY2N-CR DC 24 V Relay
Chemical cabinets:
CC1-SPM
CC2-SC-1
E-Flow
(4) Cooling tanks
Power rack
Missing parts:
I/O Board
H/D
2012 vintage.
DNS/DAINIPPON SU-3100湿站是一种实验室级的设备,用于创建可控制的环境以准备样品。该单元取水等大量液体,可用于多种应用,包括高科技制造、食品加工、生物检测等。DNS SU-3100设计为在空气输送和吸力之间提供精确和可调的平衡,创造稳定和均匀的温度范围,以便在实验中获得准确的结果。湿水站采用两个水浴,分成不同的部分,利用内部整合过程使液体均匀循环。这两个浴池的组合创造了一个可调从2摄氏度到15摄氏度的受控环境。DAINIPPON SU 3100的内置水循环系统旨在为用户提供准确的样品生长观测,并保持他们选择的稳定温度。使用者只需调整空气输送,以维持标本的精确温度。集成控制面板便于监测水温,设置参数,并根据需要接收报告。用户还可以调整送风设置,以操纵试验室周围的室温。湿站在质量控制方面也起着至关重要的作用,因为它保持了有利于确保产品准确性和安全性的湿润环境。所有部件均由耐腐蚀材料制成,可承受长期的水暴露。DAINIPPON SU-3100具有全面的控制系统,包括用户友好、可调节的控制面板和易于读取的背光液晶显示屏。该单元与大多数液体类型兼容,可与多种标本一起使用。最后,DNS/DAINIPPON SU 3100湿站在空气输送和吸力之间提供了精确、可调的平衡,为制备样品创造了受控环境。它可以根据用户的要求轻松保持潮湿或干燥的温度。该单元非常适合各种行业,是为长期使用而设计的。
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