二手 DNS / DAINIPPON SU-3100 #293615278 待售

ID: 293615278
晶圆大小: 12"
优质的: 2012
Wet station, 12" PR Strip process (DECAP) PC (8) Chambers Chemical: SC-1, SPM Temperature (SPM / SC-1): 50°C-150°C / 30°C-120°C Handler (4) Load ports Chemical units: H2SO4, H2O2, NH4OH, DHF Overhead Transport System (OHT) YASUKAWA ELECTRIC CORPORATION XU-ACT153L-H01 ID/R CAMBRIDGE Filter GA5-445480E-SWLER FFU Capacity: 99.9999 <% or more of 0.1 µm particle Test (m³/min): 5.6 at 120 pa Range of air control: 0.4 m/sec Shield plate Spin base: Material: PCTFE Spin motor: AC Servo motor Revolution: Maximum 3000 rpm Revolution accuracy: ±3 rpm Chuck: Drive: Pulse motor Material: PCTFE, ETFE Wafer detection: Detection by chuck pins Shield plate: Material: HT-PVC Revolution drive: AC Servo motor Revolution: Maximum 3000 rpm Acceleration: Maximum 1000 rpm/sec Revolution accuracy: ±3 rpm Shift: AC Servo motor Wafer surface distance : Minimum 0.3 mm Splash guard: Structure: Chemical collection Material: PTFE Shift: AC Servo motor Sputter: Drive: Air cylinder Chemical cabinet-1,2: Temperature control of low temperature Chemical used: SPM, SC-1 Mixing ratio: Premix SPM: 50-150°C SC-1: 30-120°C Circulation pump: PILLAR In-line heater E-Flow: SD16L-24SHR E Module HORIBA HE-480-DC Resistivity meter ESD-001C-T Resistivity sensor CK-10M Sensor cable EFA-30 Sensor holder MY2N-CR DC 24 V Relay Chemical cabinets: CC1-SPM CC2-SC-1 E-Flow (4) Cooling tanks Power rack Missing parts: I/O Board H/D 2012 vintage.
DNS/DAINIPPON SU-3100湿站是一种实验室级的设备,用于创建可控制的环境以准备样品。该单元取水等大量液体,可用于多种应用,包括高科技制造、食品加工、生物检测等。DNS SU-3100设计为在空气输送和吸力之间提供精确和可调的平衡,创造稳定和均匀的温度范围,以便在实验中获得准确的结果。湿水站采用两个水浴,分成不同的部分,利用内部整合过程使液体均匀循环。这两个浴池的组合创造了一个可调从2摄氏度到15摄氏度的受控环境。DAINIPPON SU 3100的内置水循环系统旨在为用户提供准确的样品生长观测,并保持他们选择的稳定温度。使用者只需调整空气输送,以维持标本的精确温度。集成控制面板便于监测水温,设置参数,并根据需要接收报告。用户还可以调整送风设置,以操纵试验室周围的室温。湿站在质量控制方面也起着至关重要的作用,因为它保持了有利于确保产品准确性和安全性的湿润环境。所有部件均由耐腐蚀材料制成,可承受长期的水暴露。DAINIPPON SU-3100具有全面的控制系统,包括用户友好、可调节的控制面板和易于读取的背光液晶显示屏。该单元与大多数液体类型兼容,可与多种标本一起使用。最后,DNS/DAINIPPON SU 3100湿站在空气输送和吸力之间提供了精确、可调的平衡,为制备样品创造了受控环境。它可以根据用户的要求轻松保持潮湿或干燥的温度。该单元非常适合各种行业,是为长期使用而设计的。
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