二手 DNS / DAINIPPON SU-3100 #293617641 待售

DNS/DAINIPPON SU-3100 Wet Station是一种集成式湿处理器,设计用于各种半导体生产过程。它利用坚固、高精度、直接驱动的电机控制来支持多种用途,包括光刻、化学机械抛光（CMP）、干式压花和沉积。DNS SU-3100是生产线的精密组件,其紧凑的设计非常适合紧凑的工作区。它采用单件不锈钢结构，重量可达400公斤。DAINIPPON SU 3100还配备了一个全面的、易于使用的图形用户界面，确保高效准确的配方归档。DNS/DAINIPPON SU 3100的范围和精度针对高通量过程进行了优化,最大速度为15 m/min,精度为± 0.1 mm。SU-3100还具有全自动的可编程温度控制系统,温度范围从室温到850°C。除了人性化、直观的设计外，DNS SU 3100还设计使维护更加简单。不锈钢浴缸和外壳的制造方便清洁，带有凸起的前门，可直接进入内部部件。还有广泛的内置诊断和指标，包括高pH警报、温度传感器和油浴级指示器。SU 3100适用于多种生产应用，包括溅射、物理气相沉积（PVD）、电子束沉积（EBD）、电镀和电脑化轴向断层扫描（CAT）扫描。此外，各种定制和附加组件都可以并入单元，如自动化控制、控制环路反馈系统、分布式控制系统等等。DAINIPPON SU-3100的设计具有最大的可靠性和灵活性,适用于各种湿处理应用。DNS/DAINIPPON具有强大的设计、直观的用户界面和多样的应用范围,SU-3100要求高精度和高精度的生产工艺的理想选择。