二手 DNS / DAINIPPON SU-3100 #9208159 待售

DNS/DAINIPPON SU-3100是一个湿式站，设计用于半导体工业中晶圆和其他基材的最大处理。它能够处理直径不超过450mm的晶片，在单晶片和双晶片处理上提供精确和均匀的蚀刻。该站由中央处理罐及其内部部件、晶圆运输机器人、控制设备几个部分组成。中央处理罐由不锈钢製成，以3000rpm的速率进行磁搅拌。集成刮刀确保所有材料都得到充分利用，不会浪费任何东西。该罐可用于安全拆卸和更换晶圆溶液，可加压至最大5巴。DNS SU-3100的晶圆运输机器人是其最具创新性的特点之一。它设计用于将晶片从装载区安全地移动到中央处理罐中，处理速度最小。它包括一个使用高级反馈系统在处理罐内部导航的六脚机器人。一旦晶片被牢固地定位，机器人手臂就会操纵它们--转动它们，调整它们的对齐方式，并放置它们进行蚀刻。DAINIPPON SU 3100还有一个强大的控制单元，有助于确保蚀刻过程的准确性和可重复性。该机包括和工业PC，拥有管理蚀刻工艺的最新软件，以及一套监控和调整流速、温度、粘度和压力等参数的数字仪表。综上所述，DAINIPPON SU-3100一个针对半导体行业进行优化的湿式站，能够以最高精度蚀刻直径达450mm的材料。其不锈钢加工罐具有磁搅拌和可净化特性，晶圆运输机器人提供安全、自动化的处理。最后，它强大的控制工具可以编程，以适应广泛的蚀刻要求。