二手 AXCELIS / FUSION RapidStrip 320 #9329249 待售

AXCELIS/FUSION RapidStrip 320是一款高性能的蚀刻器/asher设备,旨在有效剥离薄膜并产生低至亚微米尺寸的高精度、高纵横比结构。它是为制造先进的纳米级集成电路、光电和微波/射频器件而设计的。FUSION RapidStrip 320系统采用先进的模块化设计,可提供灵活性并适应客户需求和流程的变化。该单元包括一个高压化学输送机和处理不同化学品的能力取决于应用和材料被剥离。该工具使用空气或高压化学通量清洁基板。资产效率高，每分钟最多可剥离两个晶圆，蚀刻后剩余的多余材料最少。它还具有高分辨率CCD摄像机，视野广阔，能够精确监测工艺参数。这使用户能够监视每个蚀刻过程的进度。AXCELIS RapidStrip 320型号可靠,包含多个冗余,包括高压总机和多个故障安全真空室。其机载计算机和控制设备可以对工艺参数进行精确的监测和控制。它还具有内置的校准和测试活动,以实现关键工艺参数的自动化和可靠维护。该系统为过程更改和配置蚀刻过程参数提供了灵活性,包括温度、蚀刻速率、气流和功率级别。板载软件允许完全控制流程参数。借助RapidStrip 320设备,用户可以轻松调整处理时间和吞吐量。AXCELIS/FUSION RapidStrip 320机器使用方便、可靠、经济实惠。它具有先进的设计、灵活性和高精度的结果，是处理先进、纳米级集成电路、光电和微波/射频器件的理想工具。