二手 EBARA UFP 300A #9228100 待售

EBARA UFP 300A光刻设备是一种超精密的高性能调制器，用于先进的无掩码光刻应用。该系统可在大面积的基板上实现非常高分辨率的成像-低至单个微米特征大小。它具有极快的响应时间,沉降时间仅为50纳秒,可精确定位和调节成像光束。EBARA UFP-300A使用功能强大的基于FPGA的单元进行控制,该单元允许高效定位扫描光束以及数据采集和处理。机器使用高灵敏度光敏电阻检测扫描光束产生的紫外线，然后相应地调制光束以达到所需分辨率。这种光刻工具还允许扫描光束的自动对准，以确保整个基板表面的均匀和高分辨率的曝光。UFP 300A配备了最新的除尘技术，可以在洁净室环境中操作。资产附有一系列附件，如过滤器和排放收集器，以确保最大输出和质量。该车型还配备了全套安全功能，包括互锁，以防止基板意外暴露在光束上。UFP-300A是为满足最复杂的无掩模光刻要求而设计的。其高精度的对准设备，加上超快的响应时间，使得在大面积上的分辨率非常精细。这使得它成为需要极高光刻精度的制造工艺的理想解决方桉。