二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DxZ #9162773 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DxZ是一种先进的蚀刻/反应性离子蚀刻（RIE）反应器，设计用于制造集成电路。DxZ能够对基材进行蚀刻、清洁、离子注入和热处理。该工艺室采用不锈钢制成，耐腐蚀，具有用于基材加工的集成阴极和阳极，以及用于精密蚀刻的自动调谐系统。DxZ配备了最新的气体控制技术，包括气体流量监测仪和带有多选择喷嘴的气柜，以实现一致的流量。反应堆具有深陷阱配置以最大化蚀刻速率和质量，以及两个优化质量流动均匀性的气体歧管。联锁和安全功能确保在停止或重新启动操作时进行正确的操作,并且自动调整系统可确保操作过程中的精确蚀刻。DxZ配备了先进的基板装载机，可精确处理多达三十二种大小的基板。硼硅酸盐玻璃顶部的设计提供温度均匀性和散热性，而脉冲屏蔽层增加等离子体均匀性，减少晶片碰撞。射频阻抗匹配网络提供安全、准确的供电。DxZ还配备了液氮循环冷却单元、射频热管理等先进冷却系统，以实现最佳冷却性能。AMAT Centura DxZ设计为可靠高效的生产级蚀刻/RIE反应堆。先进的气体控制技术、高工艺温度均匀性、可容纳多达32种基板和射频阻抗匹配网络,确保最大蚀刻速度、精度和产品质量。DxZ的高吞吐量、优化和性能使其成为高价值和高产率应用集成电路生产的理想选择。