二手 KLA / TENCOR AIT UV #9228297 待售
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ID: 9228297
Darkfield inspection system, 8"
2003 vintage.
KLA/TENCOR AIT UV是一种晶圆测试和计量设备,设计用于对半导体器件内的微结构和先进材料性能进行高精度和精确的测试和测量。该系统的工作原理是在真空环境中用强大的紫外线(UV)光源扫描晶片,并测量材料对光的吸收。这种扫描是以超快的方式进行的,使用快速的紫外线射出,精确定位和产生不同的激光源随时间变化。然后,一组探测器从扫描的晶片中获取特定的测量值,以评估材料的质量、复杂性和特性。KLA AIT紫外线系统具有很高的可配置性,可用于各种实验室和工艺应用。这包括能够创建功能强大的高级计量过程,这些过程具有一系列功能,如缺陷检查、产量分析、3 D产量图、迭加、织带和模内电气测试。该单元还可以与透镜、折射镜和分束器立方体等多种光学元件耦合,以获取定制的测量值。TENCOR AIT-UV还考虑了噪声和稳定性,采用AIT(高级图像测试)技术,可以在无声条件下扫描材料。这是通过先进的信号分析技术和噪声与有用信号的分离来实现的。这样可以提高测量的准确性和更好的数据结果。为了为用户提供最高水平的样品稳定性和测试精度,TENCOR AIT UV具有较低的热漂移特性,即使在长期运行中也能保持一致的材料调节。此外,它还利用现代数据采集和数字化技术,从不同尺寸的材料中获取准确、高分辨率的数据。AIT-UV机具有直观的用户界面,可以方便地操作和控制设备。它采用自动控制工具设计,可以在运行过程中根据需要精确修改参数,并提供一系列数据输出选项。此外,它还具有实时性能显示功能,可通过分级报告和图形表示来监视测试进度。所有这些特性使得KLA/TENCOR AIT-UV成为一种功能强大且可靠的半导体器件和材料晶圆测试和计量解决方桉。它为用户提供了在精度、速度、灵活性和适合广泛应用方面的全面测量功能。
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