二手 LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex DX #9354411 待售

LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex DX是一款为先进的半导体加工应用而设计的蚀刻/asher设备。它采用优化、先进的蚀刻和粉刷工艺，对半导体晶片进行快速、灵活和可重复的处理。该系统专为处理先进半导体加工中具有挑战性的工作而设计。2300e4单元通过其灵活的加工和先进的蚀刻/asher配方控制提供快速、可重复的晶片处理。即使在处理多种不同的几何形状时,加工头也能确保精确地在晶片上快速移动。通过其"智能处理器"功能,2300e4机器可以自动调整配方参数以优化蚀刻或灰度速率,从而获得更高质量的结果。2300e4内置的功能集可确保可重复和可靠的结果。自动端点检测和过程监控有助于保持均匀性和均匀的晶圆厚度。这些特性加上一个可靠的环境管理工具，导致最低的缺陷率，以及一致的蚀刻/灰度率和均匀性。2300e4资产包括高性能、低维护的软件包。软件包提供易于使用且功能强大的图形用户界面、诊断和过程控制、配方构建、流程日志和配方管理功能。该模型还包括一个健壮的蚀刻/asher配方库，可以根据需要进行编辑和定制。设备还提供全面的过程监测和验证，以确保一致的蚀刻/灰度率。2300e4 Exelan Flex DX etch/asher系统设计用于可靠、高效和可重复的多几何半导体晶片处理。此单元通过高级蚀刻/asher配方控制提供快速、灵活和可重复的处理。内置的功能集为均匀性和均匀的晶圆厚度提供自动端点检测和过程监控。用户友好且功能强大的图形用户界面使etch/asher配方构建和过程控制易于使用。2300e4机是先进半导体加工应用的理想解决方桉，提高了工艺产量和均匀性。