二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0090-A3951 #293664959 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0090-A3951反应堆是一种用于先进材料加工的光刻设备。利用电子束光刻（EBL）技术在各种材料的基板上产生超高分辨率图样。反应器由压力为10−6 mBar或更小的真空室和放置在腔室上的不锈钢板组成。该系统配有电子束源，用于产生高能电子。然后将这些电子聚焦在基板上以形成图样。此过程由数控主偏转板和一系列梯度、分段和全局板调制。这允许在基板上创建复杂的设计。该单元还装有真空室中的石英窗板，在光刻过程中提供基板的视图。这允许用户观察图桉形成，并在需要时调整梁。该机器还配备了爆炸性排气工具，可以在生产环境中安全运行。该资产还提供了一个实时的光束电流平衡模型，可以在光刻过程中快速调整光束电流。这样可确保以最小误差获得最佳结果。AMAT 0090-A3951反应堆可用于多晶硅太阳能电池加工、LED生产甚至MEMS制造等多种应用。凭借其先进的特点，该设备能够产生高精度和高度控制的优越图桉和结构。