二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II MxP R2 #9124577 待售
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ID: 9124577
晶圆大小: 8"
优质的: 1996
Metal etcher, 8"
Orienter
(29) Slot elevator
(2) MxP R2 metal etch
(1) ASP
1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II MxP R2反应堆是一种特定于半导体、下一代、批处理型、化学气相沉积(CVD)的工具。它为整体基板和钝化基板提供先进的大规模生产能力。它旨在满足高级内存和逻辑芯片生产的高吞吐量和低缺陷要求。该设备具有升级的高效设计和多个可独立调节的区域,可以精确控制温度、压力、气体流量、脉冲定时和化学反应物。改进的温度控制允许更高的沉积速率和更好的过程控制。随着传感器数量的增加,系统可以快速测量和调整过程,以获得最大的均匀性、可重复性和最高的产量。AMAT P5000 Mark II MxP R2反应堆具有升级的自动装载机和卸载机。这包括改进的功能识别机器,可实现自动对齐和基板处理。该工具在其标准静电卡盘载体中最多可容纳30个基板。静电卡盘设计用于减少加工过程中晶片上的应变。该资产提供了一系列令人印象深刻的可选功能,包括冷水机、降低边缘效果的摆动马达、基板杜瓦模型、加热屏蔽气体输送、辉光放电清洁器和同步彩色液晶显示器。借助APPLIED MATERIALS P 5000 MARK II MXP R2,设备用户将受益于改进的运行时间、更高的吞吐量、降低的拥有成本、增强的可操作性以及对CVD过程的更大信心。它是一种高度可靠和坚固的工具,旨在生产无缺陷的高性能基板。P 5000 MARK II MXP R2非常适合多种生产应用,如DRAM、闪存和逻辑芯片。
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