二手 ADE / KLA / TENCOR UltraScan 9300 #9101898 待售
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ID: 9101898
Thickness measuring system.
ADE/KLA/TENCOR UltraScan 9300是一种晶圆测试和计量设备,旨在为晶圆制造提供高精度和吞吐量。利用其非接触式非感应扫描(Contactless Non-Inductive Scanning,CNIS)技术,该系统在一次通路中快速扫描完整的晶圆表面,提供快速、可重复的晶圆计量。基于激光的扫描单元能够测量晶片参数,如正面或背面地形、参考平面、凸点高度以及整个晶片表面的图样特征。ADE UltraScan 9300将快速的测量速度与减少的损伤和晶圆表面振动相结合,提供了半导体制造所需的精度和可重复性。KLA ULTRA SCAN 9300采用了多项专利功能,以确保准确性和可重复性。它的垂直级允许对整个晶片进行精确的测量,而它们的高扫描速度使循环时间更快。CNIS扫描机使用安装在Flexstage上的光学显微镜扫描晶片而不接触,确保高精度而不会损坏晶片表面。激光扫描工具消除了影响测量精度的振动和运动伪影。UltraScan 9300还提供集成的过程控制和数据分析,使其成为晶圆制造的理想资产。该模型跟踪工具性能,以确保在整个生产过程中实现可重复的结果。数据分析功能支持预测性维护、晶圆和缺陷映射、缺陷趋势分析以及过程产量。它还支持一系列算法和统计技术。ADE/KLA/TENCOR ULTRA SCAN 9300除了拥有一整套板载测量和计量工具外,还包括用户友好操作软件。该软件是用户可配置的,可以针对特定的晶片或生产设置进行定制。它还包括用于数据读取和分析、全局设置以及用于记录和绘制结果的工具。ULTRA SCAN 9300是晶圆测试和计量的完美设备,提供准确且可重复的高吞吐量结果。其先进的CNIS扫描、集成过程控制和可配置软件使其成为半导体制造的理想工具。
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