二手 PLASMATHERM Versaline #293602359 待售
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PLASMATHERM Versaline是一款精密的蚀刻器/asher,经过精密和先进的工程设计,可提供强大的蚀刻和灰化性能。Versaline配备了现代化的专有原位等离子体,可实现最高级别的蚀刻和灰化精度以及可重复性。其柔韧性允许对不同晶片材料和尺寸进行快速加工，自动改变气流、压力和等离子体点火参数，以保证高工艺质量。PLASMATHERM Versaline的高级功能和控制允许用户对各种材料的蚀刻/灰分面积和深度以及高长宽比台面蚀刻进行微观测量和调整。与氧或氯一起工作，蚀刻器/asher是许多材料类型的理想选择，包括硅、的、二氧化硅和玻璃、GaAs、氮化硅和多晶金刚石。Versaline由BCD（基本配置设备）控制台、集成硬件平台和刻版端口面板组成,利用先进的工艺控制技术提供通风、惰性或氧化气氛、大型等离子阵列和气体控制。此外，该系统的离子-enoch系统、加热敏感器和集成的E-gun系统协同工作，以优化工艺分化，确保污染最小。PLASMATHERM Versaline凭借其灵活模块化控制（FMC）技术,实现了蚀刻和灰化参数的均匀性和稳定性,以及实时监控和过程控制。这些系统还内置了振动警报系统，以通知任何异常情况，以便快速纠正该过程。Versaline选择了大量的传输模块,提供了高度灵活的配方实施、高效的样品处理以及结合各向同性蚀刻、反应性离子蚀刻（RIE）、双频介电蚀刻、隔离蚀刻等不同工艺组件的能力。蚀刻器/asher还支持晶片运输和自动处理程序，允许制造每批多达八个晶片。总而言之,PLASMATHERM Versaline是一款功能强大且创新的蚀刻器/asher,可实现可靠的重复性能和精确控制。凭借其广泛的功能,Versaline提供了卓越的功能,可确保为各种应用程序提供卓越的工艺质量和容量。
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