二手 SEZ / LAM RESEARCH DV PRIME #9239260 待售

SEZ/LAM RESEARCH DV PRIME是一种紧凑、通用的半自动批刻/灰处理设备,用于各种基材的蚀刻和灰涂层。该系统非常适合蚀刻/灰烬应用在许多应用中,包括通孔、回钻蚀刻、铅变更和表面安装焊料凸点。该单元提供可靠、可重复、一致的加工结果，允许高产晶圆生产。SEZ DV PRIME有一个4轴机器人手臂，其精密模具设计用于精密和可重复的过程控制。机器人自动化包括一个集成的气体和液体输送机，它提供了气体、液体和喷雾材料的精确和精确的输送。气体和液体输送工具得到专用真空子系统的进一步补充，允许在过程中进行精确的真空控制。LAM RESEARCH DV PRIME有一个蚀刻/灰室，旨在为气态和液态蚀刻/灰过程提供一个屏蔽环境，以最大限度地提高工艺均匀性。Etch/Ash Chamber的设计旨在最大限度地减少颗粒和排气成分，并提供工艺多功能性。由工业实力计算机控制的资产,运行专有软件。电脑由19英寸全工业触摸面板管理，提供易于使用的图形用户界面和可重复的过程结果。加工配方是模块化的，允许对各种各样的基材和材料进行工艺参数优化。该模型支持批处理或连续处理,可通过软件选项进行升级,以提高保质期、吞吐量和整体流程性能。数据管理设备可用于质量保证数据监测和数据收集。DV PRIME是半导体洁净室环境的理想系统。其占地面积小，功耗低，适合半自主实验室环境使用。该单位是为了符合各种安全和环境标准（如ISO、SEMI和OSHA），以确保人员和环境的健康和安全。