二手 RUDOLPH MetaPulse 200X-Cu #9231138 待售

ID: 9231138
晶圆大小: 8"
优质的: 2000
Film thickness measurement system, 8" 2000 vintage.
RUDOLPH MetaPulse 200X-Cu是一种晶圆测试和计量设备,旨在满足当今半导体行业的严格要求。该系统具有高精度、高速、高灵敏度的测量,非常适合现代晶圆加工的苛刻要求。该单元的核心是一个BESOI-S2Cu探测器,它提供了卓越的检测能力,包括用于粒子和缺陷分析的高分辨率成像。这与获得专利的EHP Technology相辅相成,后者为各种尺寸的晶片提供快速、可靠和高度精确的光学扫描。该机器采用了最先进的自动化技术,包括完全集成的晶圆处理工具,该工具允许晶圆工艺优化,使用芯片或直接进行过程中的测量。它与直观的图形用户界面(GUI)相结合,该界面提供了广泛的调整参数,以优化过程监控、测试和计量。该资产提供了中等吞吐量的容量,允许在短时间内完成大量测试。凭借其先进的运动控制能力,RUDOLPH METAPULSE 200XCU能够为快速晶圆扫描和映射提供精确、可重复的测量。该模型还能够同时测量多个参数,包括湿蚀刻和层厚度测量,允许在同一运行中测量和比较多个样本。该设备得到先进软件的支持,包括一个可靠的分析工具包,可用于精确的数据捕获和报告。此外,该系统还得到全面灵活的RUDOLPH软件套件的支持,该套件可用于定制设备以满足特定的晶圆要求。机器还配备了完整的统计过程控制(SPC)功能,允许用户精确监控和分析晶圆过程变化。所有这些特性使METAPULSE 200X CU成为大批量生产和工艺优化的理想解决方桉。此工具提供了前所未有的测量精度,使用户能够开发可靠的质量保证过程以满足最苛刻的生产要求。
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