二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 3030 #179474 待售
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ID: 179474
晶圆大小: 6"
Surface profiler, 6"
Power cord included
No other accessories included
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VEECO/SLOAN DEKTAK 3030是一款功能强大的自动化晶圆测试和计量设备,专为生产线应用的高吞吐量而设计。它能够以前所未有的精度提供快速、高精度的晶片测量。其主要部件包括新设计的交叉轴承配置、10,000计数线性编码器、高分辨率和高精度扫描仪以及灵活的软件工具。所有这些元件和工具结合在一起,使VEECO DEKTAK 3030能够提供晶圆的特征、功率和电气参数的精确分析。SLOAN DEKTAK 3030具有交叉轴承配置,允许它测量广泛的表面形状,包括大型阶梯式结构。此配置旨在最大程度地减少与此类阶梯结构相关的任何错误。每个DEKTAK 3030系统都装有一个10,000计数的线性编码器,负责极精确的测量。该编码器的分辨率为0.5 nm,能够测量晶圆的表面倾斜度、高度和其他各种特征。整体精度由该机组的第二代扫描仪进一步提高,分辨率为0.01微米。精确和高分辨率的扫描仪有助于识别晶圆表面形状和其他特征的细微变化。VEECO/SLOAN DEKTAK 3030的集成扫描技术也使其能够测量与晶圆关联的广泛材料、功率参数和电气参数。VEECO DEKTAK 3030由其集成的FlexWare软件工具进一步增强,设计为完全灵活。这些工具允许用户自定义其设置,以便设置所需的测量间隔并实时获得测量反馈。此外,SLOAN DEKTAK 3030还具有机器学习功能,允许它在开始识别所需测量中的重复模式时自动调整设置,甚至微调参数。这样可以确保机器产生高度精确的测量结果,而无需手动调整。VEEODEKTAK 3030是一款令人印象深刻的工具,专为自动晶圆测试和计量目的而设计。它能够提供具有无与伦比的特征范围的快速、准确的测量。它的10,000个计数的线性编码器和集成扫描仪负责其梦幻般的精确度。此外,它的FlexWare软件工具和机器学习功能使用户能够自由定制测量结果并实时获得准确的结果。
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