二手 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9285089 待售

KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一款晶圆测试和计量设备，设计用于在半导体芯片制造过程中提供高精度测量。系统由多个部件组成，每个部件设计为提供整体单元的特定功能。机器的中心部分是基础架构子系统。这包括数据采集工具、扫描电子和预对齐阶段。数据采集资产负责从传感探测器收集数据。扫描电子设备生成扫描模式,并控制晶片级的运动,使晶片在曲面上移动。最后，预对准阶段确保在任何测量开始之前将探针置于晶圆上感兴趣的特征之上。晶片级子系统负责在预先对齐的探针周围移动晶片并获取数据。它采用三轴执行器设计，为晶圆提供高精度定位。执行器系统的设计是为了确保探头的位置与感兴趣的特征一致。图像处理子系统负责分析探测器收集的数据。它提供了实时数据处理功能，以及高级图像处理算法，以准确检测感兴趣的缺陷和特征。该模型还包括几个后处理滤波器，以确保数据没有噪音和伪影。分析和报告子系统允许实时处理图像。它包括检测地形模式、粗糙度测量和其他参数的算法。分析和报告子系统还可以提供数据的统计分析以及生成报告文档。KLA 6220 Surfscan是一款革命性的设备，旨在提供广泛的晶圆测试和计量能力。通过提供半导体晶圆测试和计量的综合解决方桉，系统提高了制造工艺的准确性和效率。该单元还设计用于最大限度地提高晶圆测试过程的正常运行时间和吞吐量。