二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9299889 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是一款先进的晶圆测试和计量设备。它能够对直径6-12英寸的晶片进行无损的逐层目视检查。该系统配备了一套全面的参数化、迭加和缺陷位置分析（DLA）功能。该单元可以用纳米精度测量，适合半导体制造中要求最苛刻的应用。KLA 6200 Surfscan利用设计用于收集整个晶圆表面高分辨率图像的先进光学器件。自动激光高度剖面仪可以进行精确的三维表面分析。该工具还具有利用电子束横截面（EBCS）检测亚微米粒子和缺陷的自动缺陷检测资产。为确保足够的可重复性和准确性,TENCOR 6200 Surfscan配备了使用标准和参考晶片的自动校准模型。它还具有业界领先的高分辨率计量测量的巨点和线性测试功能。该设备设计为与晶片内晶片管理系统紧密集成，允许Surfscan与晶片内其他系统之间的通信。6200 Surfscan使用高级工具最大限度地提高了系统正常运行时间和效率,从而缩短了整个周期的时间。它包括一个带有上下文相关菜单的直观用户界面,以及用于快速反馈缺陷检测性能的全面数据审查和分析工具。该部门还配备了自动化配方开发和高级配方管理工具。PROMETRIX 6200 Surfscan是一台显着先进的晶圆测试和计量机器。它将先进的光学器件与自动传感器和校准能力相结合，提供亚微米分辨率，提高了临界晶片表面分析的重复性和准确性。创新的用户界面和数据管理工具使该工具成为需要快速、准确的晶圆分析的制造商的首选。