二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #192508 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是一款晶圆测试和计量设备，专为半导体行业的质量控制和缺陷检测而设计。它使用多种技术测量晶圆表面的地形，包括光学干涉测量、激光散射测量和电子反向散射衍射。KLA 6200 Surfscan有一个样本阶段，根据数据收集和分析的需要，精确测量、定位和扫描晶片。如有必要,可以使用自动晶圆处理程序完成此操作。TENCOR 6200 Surfscan的光学干涉测量技术使用相干光产生的干涉图样来生成晶圆表面的3D地形图。然后,系统将使用此数据来测量多个曲面参数,如平坦度、步高、斜角和粗糙度。激光散射测量技术基于光与表面的相互作用而运行。根据散射光强度与晶圆粗糙表面特性的关系进行测量。电子反向散射衍射（EBSD）用于通过从材料晶格上衍射电子来确定样品的微观结构。PROMETRIX 6200 Surfscan能够处理各种各样的晶圆材料和尺寸，包括300毫米和200毫米晶圆。该单元还具有许多可选功能，包括可调节光束扫描仪，用于优化光学干涉分辨率，以及用于分析和生成晶圆报告的软件包。该机还具有多项安全功能，如碰撞检测、保护样品的可调安全围栏以及用于监测光线水平的激光快门。6200 Surfscan是用于前沿半导体应用的质量控制和缺陷检测的强大工具。它提供快速、准确和可靠的结果,帮助制造商确保最优质的产品。