二手 ADE / KLA / TENCOR AFS 3220 #293586543 待售

ID: 293586543
Wafer inspection system.
ADE/KLA/TENCOR AFS 3220是一种领先的晶圆测试和计量设备,用于观测和分析晶圆和其他半导体材料表面的粒子级特征。了解半导体产品表面特征的精细细节非常重要,因为它们定义了半导体产品的性能,并最终定义了设备的质量。ADE AFS 3220提供了精确而全面的3D表面计量解决方桉,可以在大面积上测量特征,包括粒子、标记、结构和几何特征以及异常形状。利用扫描和地形技术,可以测量这些特征的表面均匀度、宽度、高度和曲率半径。KLA AFS 3220提供两种主要扫描模式,使其成为晶圆测试和计量的理想工具。第一种扫描模式是线路扫描,用于大面积快速测量。此模式非常快速地捕获原始形状和表面地形数据。第二种扫描模式是区域扫描,它可以更详细地捕获更高分辨率的数据。此模式可用于粒子表面特征的详细分析。该系统配备了高分辨率成像传感器、激光精密扫描级,以及用于精确可靠成像的自动化算法。它还包括一个高精度的Z范围定位单元,它允许更广泛的视野和更多的曲面特征。AFS 3220的一个关键特点是其自动成像过程,它消除了手动成像步骤,确保了结果可重复和可重现。它还提供了一个直观的用户界面,有助于最小化培训时间,允许用户在没有大量指导的情况下快速启动和运行。总体而言,TENCOR AFS 3220是一台可靠且用户友好的机器,它允许用户准确地捕获、分析和报告半导体产品的各种粒子级表面特征。对于那些需要对晶圆测试和计量进行有效和准确评估的人来说,这是一个不可或缺的工具。
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